電 話：021-39526589
網址：5xf8s3.cn
地 址：上海嘉定區嘉涌路99弄6號樓713室
概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1
反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
傳感器可以從正前方、右側、左側、
下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，
質量約為75g的小巧、輕盈型。
保護構造 IP20(IEC)
使用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃
使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(調制式)
材質 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m
重量 本體重量：約75g
概述SUNX晶圓定位傳感器M-DW1
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