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可以同時滿足高壓、真空、高溫的綜合性能
是密封性好，，死區小
其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半
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手 機；189 17O7 4297
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允許負載慣性力矩kg?m2 0.60 0.90
分度精度（注2） 秒±30
易于排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質中。
供高純氣體系統用較大輸出轉矩N?m 22 45
在連續旋轉時，請以不過80rpm的速度使用。
分度精度、重復精度、輸出軸振動
輸出軸端面振動的解說請參照10頁“用語解說”。
允許軸負載N 400允許力矩負載N?m 20
膜片式截止閥工作壓力可達21MPa可
適用溫度-54～316℃漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s
連續輸出轉矩N?m 7 15快旋轉速度rpm 240（注1）
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